MO-CVD 공정에서 사용하는 Heater의 전극 및 위치 고정용 Parts, Susceptor 의 회전 축으로 사용 되는 Parts 입니다.

      1) 적용 Maker/Model : Veeco社 K456i / Outer Heater, Middle Heater, Inner Heater

      2) 적용 재질 : W, Moly, Ceramics

      3) 고객사 공정 특성에 따라 최적화 설계 및 제작 가능