Quartz 파츠세정
Parts Dry Chemical Cleaning : Quartz
CONTACT POINT
TSDC(티에스디씨)한사준 과장
TEL : 031-354-7465
E-mail : sj.han@tsdc.co.kr
제품소개
1. Quartz Parts Dry Chemical Cleaning
1) Dry Cleaning은 Gas를 사용하여 모재(Quartz)에 Damage를 최소화 하기 때문에, 증착된 GaN 만을 완벽하게 제거.
2) 효과
구분 | Dry Chemical Cleaning | Wet Cleaning |
장점 | ▶ 모재에 대한 Damage 최소화로 제품 수명 증가 ▶ 안정된 수율 확보 가능 ▶ MO설비 운영 시 관리 효율 극대화 | ▶ 세정 비용이 저렴함(Dry 세정의 40% 수준) |
단점 | ▷ Wet 세정 대비 Cost 높음 | ▷ 무게, 두께 변화로 수율 Hunting 및 수명이 짧음 |
3) 세정 가능 부품 : LED MO-CVD Chamber 내 Quartz 재질의 Parts